Titlebook: Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen; Ralf Kaun Book 1997 Springer-Verlag, Berlin, Heid

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書目名稱Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen影響因子(影響力)

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書目名稱Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen網(wǎng)絡(luò)公開度

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書目名稱Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen讀者反饋

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Erarbeitung von Hilfsmitteln zur Anlagenkonzeption,strukturen besteht aus der Dekomposition übergeordneter Funktionen, der zeitlichen oder logischen Zuordnung von Funktionen zu Funktionssequenzen sowie der Gruppierung von Funktionssequenzen zu Funktionsnetzen. Hinzu kommen noch Schritte zur Bewertung und Auswahl (vgl. Kap. 6.4) von m?glichen alterna

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Anwendung des Verfahrens am Beispiel der Konzeption einer automatischen Fertigungszelle zur Waferkoern mit bekannter partikul?rer Kontamination für Me?zwecke (Sedimentationsuntersuchungen), wobei die Zahl der verfügbaren Wafer begrenzt ist. Ziel der Entwicklung ist es daher, die Wafer automatisch auf Partikelkontamination zu untersuchen und dem Anwender definierte Reinheitsklassen an Wafern zur Verfügung zu stellen.

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Entwicklungsschwerpunkte,ptionsphase die Phase der Aufgabendefinition einen geringen Einflu? auf die Reinraumtauglichkeit der Anlage ausübt, mu? das zu entwickelnde Verfahren auf die funktionelle Analyse und die konzeptionelle Gestaltung ausgerichtet werden. Bei diesen beiden Phasen ist die Reinraumtauglichkeit am st?rksten beeinflu?bar.

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