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Titlebook: Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik; Gerhard Franz Book 2004Latest edition Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004 Energie.Gleichst

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樓主: 即將過時
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發(fā)表于 2025-3-28 15:10:34 | 只看該作者
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發(fā)表于 2025-3-28 19:55:55 | 只看該作者
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發(fā)表于 2025-3-28 23:54:40 | 只看該作者
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發(fā)表于 2025-3-29 04:50:04 | 只看該作者
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發(fā)表于 2025-3-29 09:09:13 | 只看該作者
Ionenstrahlsysteme,. Von einer ganz anderen Seite kommt das Ionenstrahlverfahren: Bei der NASA wurde Ende der 1950iger Jahre an der Entwicklung von Ionentriebwerken gearbeitet [223J [224], um Flüge in den interplanetarischen Raum zu erm?glichen. Diese Systeme wurden zur Erzeugung einer m?glichst hohen Schubkraft optim
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發(fā)表于 2025-3-29 13:04:10 | 只看該作者
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發(fā)表于 2025-3-29 18:19:40 | 只看該作者
,Trocken?tzverfahren,en Molekein — meist ein Edelgas, zu dem reaktive Gase dotiert werden k?nnen —, abgest?ubt wird. Diese erfahren im Kathodendunkelraum eine starke Beschleunigung in Richtung des elektrischen Feldes und nehmen dabei eine kinetische Energie auf, die ein Vielfaches der Gitterenergie betragen kann. Dadurc
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發(fā)表于 2025-3-29 21:18:25 | 只看該作者
,?tzmechanismen,ren kann. Dabei standen physikalisch orientierte Fragen im Vordergrund. Im abschlie?enden Kapitel wollen wir nun die Frage der ?tzung eher unter dem chemischen Blickwinkel betrachten. Aus dem Plasma-Bulk werden Ionen und Elektronen auf die Substratoberfl?che geschossen. Wie allerdings bereits eine ü
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發(fā)表于 2025-3-30 03:36:31 | 只看該作者
Ausblick,1 Pa, w?hrend IE im Druck um eine Gr??enordnung und PE um zwei Gr??enordnungen h?her liegen. Heliconwellen- und ECR/ICP-Verfahren umfassen den Bereich zwischen IBE und IE. Das kann auch von den ?tzraten gesagt werden.
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發(fā)表于 2025-3-30 05:07:31 | 只看該作者
Anhang, beschreibt die Dichte der Elektronen im Orts- und Impulsraum und ist daher eine Kontinuit?tsgleichung von Gewinn und Verlust im Phasenraum. Sie kann deswegen geschrieben werden als f(r, v). Das Produkt f(r, v)d(r dv gibt damit die Zahl N der Elektronen im Volumenelement d3r d3v an. Integrieren wir
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