SCIE期刊JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 2024/2025影響因子:1.546 (J VAC SCI TECHNOL B) (2166-2746). (PHYSICS, APPLIED

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Submitted on: 12 September 2021. Revised on: 09 October 2021. Accepted on: 29 October 2021. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B

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