Titlebook: Bau hybrider Mikroschaltungen; Einführung in die Dü Ernst Lüder Textbook 1977 Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg 1977 Dickschichttechnik.Di

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Friederike Wawrik,N.-?. ScheibbsDer Schaltungsabgleich wird i.a. an Widerst?nden ausgeführt. Ein Abgleich von Kondensatoren, z.B. durch Verkleinem der Elektrodenfl?che wird sehr selten angewandt, weil die Gefahr der Besch?digung des Dielektrikums besteht.

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,Dünnschichttechnik,Wie im überblick bereits geschildert wurde, ben?tigt man zur Herstellung von Dünnschichtbauteilen Vakuumtechnik [42, 43], Aufdampf- und Sputter-Verfahren [2, 11, 44], Photolithographie [45] und ?tztechnik [11], worüber die n?chsten Abschnitte Auskunft geben.

mitten

Abgleich von Bauteilen,Der Schaltungsabgleich wird i.a. an Widerst?nden ausgeführt. Ein Abgleich von Kondensatoren, z.B. durch Verkleinem der Elektrodenfl?che wird sehr selten angewandt, weil die Gefahr der Besch?digung des Dielektrikums besteht.

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Dickschichttechnik,ufzubringen. Man verwendet das vom graphischen Gewerbe her bekannte Siebdruckverfahren [9, 13]. Dabei pre?t ein bewegtes Rakel nach Bild 26 eine Paste durch die ?ffnungen eines Siebes auf die Substratoberfl?che. Die Paste besitzt die für die elektrischen Bauteile jeweils n?tige Zusammensetzung.

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AVOW

0342-9148 Overview: 978-3-540-08289-7978-3-642-95301-9Series ISSN 0342-9148