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SCIE期刊IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING 2024/2025影響因子:2.332 (IEEE T SEMICONDUCT M) (0894-6507). (PHYSICS

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Submitted on: 25 December 2020. Revised on: 20 January 2021. Accepted on: 15 March 2021. ___________________IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
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Submitted on: 26 January 2003. Revised on: 07 March 2003. Accepted on: 29 March 2003. ___________________IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
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Submitted on: 15 March 2016. Revised on: 15 April 2016. Accepted on: 27 April 2016. ___________________IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
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Submitted on: 17 May 2017. Revised on: 28 August 2017. Accepted on: 21 September 2017. ___________________IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
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